1800c 金属膜蒸着用 4 ソース高真空蒸着コーティング システム

基礎情報

モデル番号。	CY-EVP325S-4S-T
状態	ノイ
蒸発源	ウルフランブーツ X2
チャンバーサイズ	は。 300mm*400mm
チャンバー材質	304ステンレス鋼
補助ポンプ	二段ロータリーベーンポンプ
二次ポンプ	ターボ分子ポンプ
到達真空度	1,0e-5PA
供給電圧	AC380V、50Hz
総電力	5kW
輸送パッケージ	外側は木箱、内側はビニール紙
仕様	オーダーメイド
商標	サイキー
起源	鄭州、中国
HSコード	8402111000
生産能力	100個/月

製品説明

金属膜を塗布するための1800C 4ソース高真空蒸着コーティング機
四元高真空蒸着コーターの紹介：
本装置は四元式高真空蒸着コータです。 この装置には、前開きドア付きの真空チャンバーが備わっています。 さらにチャンバーも500mmに大型化。 サンプルテーブルと蒸発源間の距離の調整範囲が広くなり、さまざまな蒸発要件に適応できます。 蒸発源の高温によるサンプルのダメージを防ぎます。
チャンバーには上部サンプルステージがあり、サンプルステージは回転、加熱、上昇することができ、すべての操作はタッチスクリーンを介して統合および制御できます。 装置の真空系は2段ロータリーベーンポンプとターボ分子ポンプからなる2段真空システムとなっており、オイルフリーでクリーンな高真空環境が得られます。 この装置には空気圧バルブシステムが装備されています。 オペレーティング システムの自動制御により、ユーザーはタッチ スクリーンを介して、ボタン 1 つで真空ポンプ、連続的なサンプルの取り出しと配置、完全なシャットダウンなどの操作を実行できます。
この装置には4組のタングステンボート蒸発源と水冷銅電極が装備されています。 各蒸発源は100Aの大電流と1800℃の加熱温度に対応しています。 多層塗装や複数材料の混合塗装が可能です。

4 ソース高真空蒸着コーターの技術パラメータ:

4つのソースを備えた高真空コーティングシステム
リハーサルステージ	サイズ	直径150mmのサンプルを最大サポート	身長	上下140mm調整可能
蒸発源	群衆	タングステンボート×4
真空室	チャンバーサイズ	Ø325mm×510mm	観察窓	フロントφ100mm 遮光板付
	チャンバー材質	304ステンレス鋼	オープンメソッド	正面玄関を開けると
膜厚制御	水晶振動子膜厚計、オプションのマルチチャンネル膜厚コントローラ
真空システム	ボルバキュームポンプ	二段ロータリーベーンポンプ	ポンプポート	KF16
	二次ポンプ	ターボ分子ポンプ	ポンプポート	CF160
	真空測定	抵抗+イオン化 複合真空計	排気速度	メカニカルポンプ 1.1 l/s
	到達真空度	1,0E-5Pa	電源